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真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。
普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類(lèi)型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無(wú)任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。
現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過(guò) 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃稀Ｒ虼耍猛鈿さ姆€(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過(guò)理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過(guò)UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過(guò)高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開(kāi)創(chuàng)的。
真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬(wàn)歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來(lái)越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬(wàn)小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場(chǎng)更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。
在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：
分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）
半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽(yáng)能電池等）
光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）
真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）
真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）
泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車(chē)燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）
科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）
燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）
電磁軸承也被稱作“主動(dòng)式磁懸浮軸承”，其轉(zhuǎn)子位置會(huì)被不間斷的監(jiān)測(cè)和自動(dòng)調(diào)整，并依靠自動(dòng)平衡補(bǔ)償來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)磨損、低震動(dòng)的運(yùn)行。保證轉(zhuǎn)子能持續(xù)穩(wěn)定的工作。同時(shí)，這樣的軸承設(shè)計(jì)也實(shí)現(xiàn)了零維護(hù)和無(wú)潤(rùn)滑油。
HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。利用這種軸承技術(shù)，轉(zhuǎn)子 的位置能被實(shí)時(shí)控制。在工作中，動(dòng)平衡裝置會(huì)進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，可 以較小程度上減輕震動(dòng)和工藝過(guò)程中產(chǎn)生的軸承位移。低能耗和極 低的維護(hù)成本確保了其極高的性價(jià)比。
是否覺(jué)得不同的界面接口標(biāo)準(zhǔn)讓您頭疼不已？我們的磁懸浮渦輪分 子泵能提供集成化的電子驅(qū)動(dòng)裝置供您選擇，從而滿足各種不同界 面接口的連接需要。
我們ATH M和ATP M系列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉(zhuǎn)子 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能。通過(guò)采用這種高性能的 軸承技術(shù)，我們的泵不僅能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)運(yùn) 行時(shí)也非常安靜。此系列軸承技術(shù)的泵在半導(dǎo)體、鍍膜和干蝕刻等 離子體過(guò)程行業(yè)的高真空工藝中具有成員地位，此外也廣泛應(yīng)用于 許多其他工業(yè)行業(yè)和研發(fā)領(lǐng)域。
ATH 2300 M
Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 2150 l/s 的吸氣能力
水冷
帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
加熱版本（MT）可用于腐蝕性應(yīng)用
使用集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 OBC 或外部 Magpower 驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備運(yùn)行
用于在所有情況下的安裝
ATH 2300 MT，DN 250 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 (Q6622100)
ATH 2300 MT，DN 250 ISO-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 (Q6662100)
ATH 2303 M，DN 250 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，非加熱 (TMB206220000)
ATH 2303 M，DN 250 ISO-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，非加熱 (TMB206620000)
ATH 2303 M，DN 250 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，遙控，水冷，非加熱 (TMBBA622005A)
ATH 2303 M，DN 250 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，遙控，水冷，非加熱 (TMBBA662005A)
ATH 2303 M，DN 250 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，Profibus，水冷，非加熱 (TMBBB622005A)
ATH 2303 M，DN 250 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，Profibus，水冷，非加熱 (TMBBB662005A)
ATH 2303 M，DN 250 CF-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，DeviceNet，水冷，非加熱 (TMBBC622005A)
ATH 2303 M，DN 250 ISO-F，OBC V4 集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，DeviceNet，水冷，非加熱 (TMBBC662005A)
ATH 2300 MT，DN 250 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱
使用外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 Magpower 運(yùn)行
用于在所有情況下的安裝
水冷，加熱
帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 2150 l/s 的吸氣能力
連接法蘭 DN 250 CF-F
技術(shù)參數(shù)| Ar 的壓縮比 | > 1 · 108 |
| Ar 的抽速 | 2000 l/s |
| Ar 的較大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 | 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s |
| Ar 的氣體流量 | 25.4 hPa l/s | 19.05 Torr l/s | 25.4 mbar l/s |
| H2 的壓縮比 | > 2 · 103 |
| H2 的抽速 | 1100 l/s |
| H2 的較大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 | > 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s |
| H2 的氣體流量 | > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
| He 的壓縮比 | > 3 · 104 |
| He 的抽速 | 1800 l/s |
| He 的氣體流量 | > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
| I/O 接口 | 通過(guò)外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 |
| N2 的壓縮比 | > 1 · 108 |
| N2 的抽速 | 2150 l/s |
| N2 的較大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 | 16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s |
| N2 的較大預(yù)真空 | 2.8 百帕 |
| N2 的氣體流量 | 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
| 不帶氣鎮(zhèn)的較終壓力 | < 6 · 10-9 百帕 |
| 允許冷卻水的溫度 | 15 – 25 °C 攝氏度 |
| 冷卻水消耗較小值 | 60 l/h |
| 冷卻水耗量 | 60 l/h |
| 冷卻類(lèi)型 | 水 |
| 冷卻類(lèi)型，標(biāo)準(zhǔn) | 水 |
| 分離的驅(qū)動(dòng)電氣設(shè)備 | 是 |
| 聲壓水平 | ≤47 dB(A) 分貝 (A) |
| 安裝方向 | 任何 |
| 工作電壓 | 100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
| 方位 | 配有磁軸承 |
| 較終壓力 | < 6 · 10-9 百帕 |
| 較終壓力時(shí)的功率消耗 | 350 瓦 |
| 電子驅(qū)動(dòng)單元 | 外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 |
| 耗電量 max. | 1000 瓦 |
| 腐蝕性氣體的版本 | 是 |
| 轉(zhuǎn)速 ?± 2 % | 31,000 rpm | 31,000 min-1 |
| 運(yùn)行時(shí)間 | < 8 分 |
| 連接法蘭（入口） | DN 250 CF-F |
| 連接法蘭（出口） | DN 40 ISO-KF |
| 重量 | 60 千克 |
| 顆粒計(jì)數(shù) | 是 |
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