阿特拉斯真空泵是一種非常重要的真空設備。根據產生真空的原理，可分為：容積式真空泵(如液環泵、螺桿泵、羅茨泵等)；動量傳遞真空泵(如分子泵：噴射真空泵：擴散泵)；氣體捕集真空泵(如鈦升華、鋯鋁合金吸泵，低溫泵濺射離子泵，熱蒸發鈦升華泵等)。

真空通常由專用抽氣機獲得，其氣體稀薄度用真空計測量。利用分子和擴散式氣體抽提器可以獲得大氣壓為1×10-14pa的高真空度。真空技術廣泛應用于芯片制造、太陽能電池制造、光學薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器中。

阿特拉斯真空泵常見的幾種類型有哪些？它們各自的發展趨勢又是如何的？

1、水環式真空泵是一種變量泵，它能用于易燃、易爆、腐蝕性氣體以及含塵、潮濕氣體。本實用新型結構簡單，維修方便，磨損小，安全性高，輸送氣體無污染。水環泵的主要原材料是鑄件，加工簡單，屬于勞動密集型產品。因此，與進口泵相比，具有價格優勢，目前應用范圍廣。目前，國內生產企業應主要從減重、體積、能耗、效率等方面改進產品。

2、旋片式真空泵是基本的真空獲取設備之一。它是一種油封式機械真空泵，適用于真空包裝、真空成型、真空抽吸等密閉系統中的氣體抽取，具有體積小、重量輕、噪音低、真空度高等優點。旋葉泵在技術上已達到標準，價格遠低于進口泵，具有一定的競爭優勢。目前需要解決的主要問題是葉片材質、軸封漏油等問題，以及抽汽葉片泵的研制。

3、滑閥式真空泵是一種油密封的變容積真空泵，可用于抽取一般氣體或含有少量氣體的可冷凝氣體。與旋片式泵相比，具有工作壓力高(104pa)、抽氣量大、在惡劣工況下使用、經久耐用等優點。主要用于真空熔煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等領域，由于鑄造工作量大，加工工作量大，許多國外廠家希望與國內真空泵企業合作。為了加快進口產品的更新換代，國產滑油泵需要在降低振動和噪音、防止噴油和漏油等方面對其產品進行優化。

4、干式螺旋真空泵是一種較新的阿特拉斯真空泵系列下的設備，具有可靠性高、壽命長、動平衡性能好、適應性強、多相混輸等特點。它能去除腐蝕性、有毒、含塵氣體和可冷凝蒸汽等氣體。干泵有著廣泛的應用，包括半導體工業、化學工業、薄膜工業等，這三個行業的需求是推動干式泵市場的主要動力。在歐美半導體行業，約有一半的企業采用干式真空泵代替油封式機械泵。我國半導體行業主要采用進口干式泵。因此，應加強國產干式真空泵的研發，使之成為我國真空行業新的經濟增長點。