? ?渦輪分子泵的極限壓力p1能用泵出入口壓力p2除于泵的壓縮比K獲得，即(2-24)? K? 渦輪分子泵的K值，隨含量的提升而擴(kuò)大，它對(duì)油蒸汽的壓縮比尤其大? 因此可以得到 氮氧化合物環(huán)境污染較少的清理真空泵，但針對(duì)輕的汽體如氫的壓縮比卻很 低，因此 前級(jí)氫分壓電路是影響泵的極限壓力較重要的要素，氫的分壓電路關(guān)鍵來自前級(jí) 真空泵運(yùn)行時(shí)油裂化造成氫的影響，不一樣型號(hào)的前級(jí)機(jī)械設(shè)備油閥，對(duì)分子泵的極限壓? 力的影響遙遠(yuǎn)超過泵軸承潤(rùn)滑油的影響。高壓縮比的分子泵，歷經(jīng)烤制后能得到 ? 1×10=6~1×10-9Pa的真空值，氫占?xì)埩羝w成份的90%之上。

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圖227所顯示為泵效為200L/s的渦輪分g? 子泵其前級(jí)壓力p1對(duì)泵的極限壓力pm的影響。1能夠看得出，前級(jí)壓力從1Pa擴(kuò)大到130Pa時(shí)，泵的極限壓力不會(huì)受到影響，當(dāng)前級(jí)壓力從65Pa提前級(jí)壓力高到130Pa時(shí)，泵的極限壓力從4×105Pa增? 加進(jìn)2×10-3Pa，前級(jí)壓力從130Pa再次提升 到200Pa時(shí)，泵的極限壓力快速擴(kuò)大三個(gè)量級(jí)，? 這時(shí)受泵的抽真空葉列中汽體流動(dòng)性情況轉(zhuǎn)變的影響，泵的壓縮比從K=104降至? K=102。